
一、電極材質純度要求
金屬離子溶出限制?
超純水兼容性?:電極材質需滿足ASTM E1-11標準,金屬離子溶出量<0.1ppb(如鈦Ta2O5涂層或鉑金電極)?;
表面粗糙度?:Ra≤0.2μm,減少微觀孔隙吸附雜質?。
材質選擇?
惰性金屬?:優先選用316L不銹鋼(電解拋光)或哈氏合金C-276,避免銅、鋅等易溶出金屬?;
絕緣涂層?:聚四氟乙烯(PTFE)或氧化鋁陶瓷涂層,隔離電極與介質直接接觸?。
二、避免電極污染的措施
結構設計?
非接觸式測量?:采用電容耦合技術,電極與介質間通過絕緣層(如藍寶石)隔離,避免物理接觸?;
自清潔功能?:集成超聲波振動模塊(頻率40kHz),周期性清除電極表面吸附層?。
工藝控制?
潔凈裝配?:電極在Class 100無塵室中封裝,避免組裝污染?;
惰性氣體保護?:傳感器腔體充填高純氮氣(純度≥99.999%),防止氧化?。
00:02 斷電斷水防風險
00:13 定位泄漏源
00:28 分級修復
三、驗證與維護
定期校準?:使用在線電阻率儀(如Mettler Toledo)監測介質純度變化,偏差>0.5MΩ?cm時觸發報警?;
電極壽命?:建議每12個月更換一次,或根據溶出檢測結果(ICP-MS分析)決定?。
通過上述措施,可確保電容式射頻導納物位計在超純水系統中長期穩定運行,同時維持介質的高純度要求?。